26
2023
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05
X射線探測器和X射線源為啥這么重要？
作者：
2023年2月23日，工業和信息化部等七部門發布了《智能檢測裝備產業發展行動計劃(2023—2025年)》，把智能檢測裝備定義為“智能制造的核心裝備”，上升到“提升產業鏈供應鏈韌性和安全水平，支撐制造強國、質量強國和數字中國建設”的高度。從總體目標、基本原則、具體實施領域、扶持政策等多個維度進行了解釋說明，在頂層設計的高度圈定了智能檢測裝備產業的發展方向和落地措施。提出到2025年，智能檢測技術基本滿足用戶領域制造工藝需求，核心零部件、專用軟件和整機裝備供給能力顯著提升。發聲之疾、計劃之緊迫，無不彰顯著檢測產業此刻山雨欲來，正處在格局重塑、密集發力的關鍵節點。
明確提出攻克核心零部件/元器件：高性能X射線探測器、高功率微焦斑X射線管。這充分體現了國家對于掌握關鍵核心技術，提升國產替代水平的重視，有利推動國內智能檢測裝備的發展，自主核心部件的突破。
X射線智能檢測設備的2大核心部件是X射線源和X射線探測器。X射線管是X射線源中技術難度最高的核心零部件，也可稱之為“核心中的核心”。
微焦斑X射線管就是焦點尺寸在微米級別的X射線管，其技術難度是整個X射線管領域的最高研發水平，目前德國Yxlon、Finetech、X-WorX，美國ThermoFisher，日本濱松光子既掌握著技術、又控制著全球市場供應。
受限于國內技術和制造水平不足，我國工業影像檢測的微焦點X 射線源幾乎全部依賴進口，而用量最大的封閉式微焦點X射線源產品及核心技術主要掌握在日本濱松光子和美國Thermo Fisher兩家企業手中。隨著我國精密檢測設備需求的不斷提升，關鍵核心部件供給不足的問題日益凸顯，特別是隨著下游集成電路、新能源電池產業的發展，下游面臨“一源難求”的困境，嚴重影響了下游相關產業的產品質量檢測水平。
美國政府2022年10月7日實施的新EAR法案，2023年1月30日美國又游說日本、荷蘭官員在華盛頓達成協議，同意擴大對華芯片出口管制措施。雖然目前美國和日本未對微焦點X 射線源的出口實施限制政策，但海外供應商由于供應緊張，一直處于無法足量、按期交付的狀態。用于半導體內部缺陷檢測的X 射線智能檢測設備采用的核心部件就是微焦點X 射線源。如果中美摩擦繼續升級，美國和日本很可能“限制”微焦點X射線源出口，進而影響到中國半導體產業的安全。
國產化迫在眉睫，這就引發了相關部門的高度重視，春節一過，工業和信息化部等七部門發布了《智能檢測裝備產業發展行動計劃(2023—2025年)》，把高性能X射線探測器、高功率微焦斑X射線管列為重點工程的第一個專欄中。
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